


| मिल व्यास (डी) | $200, यू 246, 303 अंदर, 350 अंदर आदि |
|---|---|
| भीतरी व्यास (डी) | $158, $190, $240, $274, आदि। |
| दांतों की संख्या (पीसी) | 28, 32, 69, आदि। |
| जाल (#) | 320#~15000# |
| प्रसंस्करण वस्तु | 6-इंच, 8-इंच, 10-इंच वेफर्स |
| उपकरण की गति (आर) | 25000-50000r/मिनट |
| फ़ीड दर (vf) | खुरदरापन <4µm/s, बारीक <0.4µm/s |
| पीसने की मात्रा (एई) | मोटा <0.6 मिमी, महीन <0.03 मिमी |